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チェンバー内における真空

真空とは…

真空とは空気がない状態のことをいいます。 空気は1リットルあたり、およそ10の22乗個の分子を含んでいます。 同じ体積でこれらの分子が十分少なければ、真空ということができます。 ちなみにわれわれの地球の回りでは、体積1リットルあたりにわずか1000個程度の 分子しか含まれていません。19桁も分子の数が少ない十分な真空ですね。

X線発生装置、ダクト、および測定チェンバー内は、測定時、真空状態で 用いられます。真空は、ロータリーポンプ、ターボ分子ポンプなどといった 排気装置で、チェンバー内の空気をかき出すことによって得られます。 身近な例では、掃除器がありますね。これもひとつの真空を創り出す排気装置 といえます。

装置を真空にする利点に次のようなものが挙げられます。

  1. X線が大気によって吸収されるのを防ぐ

    X線は、エネルギーが低いほど大気の吸収を受けやすくなります。 我々が通常測定で用いている銅の特性X線(Cu-K,8.0keV)は、大気中では1m離れると、 大気の光電吸収により強度が3割ほどになってしまいます。真空であれば、10m離れ ていてもほぼ10割の強度が得られます。

  2. X線が大気によって散乱されるのを防ぐ

    X線のエネルギーが大きくなると、大気の散乱を受けやすくなります。 X線が散乱を受けると、長いビームラインを作って、せっかく疑似平行光を作っても、 検出器に到達するころには、さまざまな方向に散乱されたX線が検出器に到達する ことになり、本来の測定データの中に、バックグラウンドとして混入するようにな ります。そのために測定データを扱うのに、より慎重な手続きをする必要が生じて しまいます。真空にしておけば、この散乱が無視できるため、信号対雑音比のよい 測定が出来ることになります。

真空度

真空のレベルを表すのには、Torr(トール)あるいはPa(パスカル)といった単位を 用います。

大気圧は、760Torrあるいは1013hPa(ヘクトパスカル)です。

そして、ダクト、チェンバーなどの真空度は、およそ10のマイナス6乗Torrです。 ということは大気中の10億分の1しか空気がないことになりますね。

 
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